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球盟会科技两项技术入选《工业基础立异生长目录（2021年版）》

2022-08-09

近期，由中国工程院、国家制造强国建设战略咨询委员会指导，国家工业基础专家委员会体例的《工业基础立异生长目录（2021年版）》宣布，球盟会科技子公司青岛球盟会半导体技术有限公司的半导体制程专用超纯高浓度臭氧装置、球盟会的基于臭氧法的晶体乙醛酸一水合物制备基础工艺划分入选环保、低碳及资源综合利用装备领域基础制造工艺及装备 。

《工业基础立异生长目录（2021年版）》在《工业“四基”生长目录（2016 年版）》基础上，新增了工业基础软件，组成了“五基”（基础零部件和元器件、基础质料、工业基础软件、基础制造工艺及装备、工业技术基� 。┝⒁焐つ柯�，成为我国完善工业基础顶层设计的重要组成，也是工业基础再造工程实施的重要抓手 。

近年来，球盟会科技不但深耕自身臭氧爆发器生产制造领域，更是加大科研投入，增强技术攻关，在半导体清洗、新质料研发等领域不绝取得新的突破 。

青岛球盟会半导体技术有限公司研发的半导体制程专用超纯高浓度臭氧装置，接纳无机超纯质料与超纯生产工艺，实现了极低金属离子析出型的高纯度、高浓度的臭氧制造，抵达半导体行业超高洁净度要求；通过自主立异实现整机与焦点部件国产化 。

图一 电子级超纯臭氧爆发器

球盟会的基于臭氧法的晶体乙醛酸一水合物制备基础工艺，经过十余年的研发和实验，解决了臭氧氧化顺丁烯二酸酐法生产晶体乙醛酸一水合物的技术难题，形成了自有知识产权的臭氧氧化顺丁烯二酸酐法乙醛酸一水合物专有技术，该技术在情况�；ぁ⒛采⒉分柿考澳芎奈锖姆矫婢〉昧酥卮笸黄� 。臭氧的利用率抵达90%以上，大幅度降低了生产本钱，改善了产品质量，提高了产品竞争力，能够极大的增进乙醛酸下游产品的品质提升和产品研发，并占领乙醛酸高端应用市场 。

图三 乙醛酸晶体

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